Elm
EN AZ
Silisium üçün innovativ aşındırma metodu: Ara qat vasitəsilə daha yüksək dəqiqlik

Silisium üçün innovativ aşındırma metodu: Ara qat vasitəsilə daha yüksək dəqiqlik

phys.org 27.08.2026 01:20 4 baxış
In micro- and nanotechnology, highly precise components with tall, narrow structures (high aspect ratios) made from semiconductor materials like silicon are important. A promising fabrication method is gas-phase metal-as