Bu məqalə Science X-nin redaktorluq prosesi və siyasətlərinə uyğun olaraq nəzərdən keçirilib. Tərcüməçilər məzmunun etibarlılığını təmin edərkən aşağıdakı xüsusiyyətləri vurğulayıblar:
Yarımüriplik istehsalında istifadə olunan qazlar arasında, tetrafluorometan (CF4) karbon qazından 6000 dəfə daha güclü bir istixana qazıdır.
KAIST-in tədqiqat qrupu bu qazı yüksək səmərəli şəkildə çıxarır və katalizatorun istifadə müddəti uzadır.
Kimyəvi və Biomolekulyar Mühəndislik Departamentindən professor Minkee Choi rəhbərlik etdiyi bir tədqiqat qrupu, Samsung Electronics-dən olan tədqiqatçılarla əməkdaşlıq edərək, uzun müddət istifadə olunan gözəl yarımüçərdüşücülük dairələrinin istehsalı kimi proseslərdə istifadə olunan istixana qazı olan CF4-i səmərəli şəkildə aradan qaldırmağa qadir olan yeni katalizator hazırlayıb.
Bu nəticələr iyun ayında "Angewandte Chemie International Edition" beynəlxalq kimya jurnalında dərc olunub.
CF4 quru etching kimi proseslərdə istifadə olunur, burada yarımüçərgəmənin istenməyən hissələri seçkin şəkildə çıxarılır və incə dairə nümunələri yaradılır.
Xülasə — davamını mənbədə oxuyun.
